FT-3110B全自動四探針測試儀
發(fā)布時間： 2024-12-11 10:26:39 點擊： 91
FT-3110B全自動四探針測試儀
功能介紹Function Introduction
四點探針法、全自動化運行測量系統(tǒng)
PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理、ASTM方法
自動正/負電流輸出，自動正/負電壓測量
測量電阻率、方塊電阻、厚度
可調(diào)探針壓力、測試點數(shù)、多種模式
顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值
提供標準校準電阻件、數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析
適用范圍Scope of application
晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴散片；
表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；新型電極設計，如電鍍銅電阻測量等；
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規(guī)格型號 |
FT-3110B（可擴展） |
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1.方塊電阻 |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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2.電阻率 |
10-7～2×106Ω-cm |
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3.測試電流 |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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4.電阻精度 |
≤0.3%（標準電阻） |
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5.PC軟件操作 |
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等 |
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6.壓力范圍 |
探針壓力可調(diào)范圍：100-500g |
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7.探針 |
鎢鋼材質(zhì)，探針間距1mm；機械游移率：≤0.3%；其他規(guī)格可定制 |
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8.載臺類型及尺寸選購 |
選購1:圓形載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 選購2：方片載臺尺寸：153mm*153mm范圍內(nèi)定制規(guī)格 |
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9.分析模式 |
單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 |
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10.重復性 |
單點重復性：重復性≤0.5% |
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11.防護功能 |
具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 |
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12.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
參數(shù)資料technical data
標準配置外訂購明細
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序號 |
型號 |
品名 |
單位 |
數(shù)量 |
備注 |
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1 |
3310-CSX |
測試線 |
套 |
1 |
|
|
2 |
09A |
標準電阻 |
個 |
1-5 |
選購規(guī)格和數(shù)量 |
|
3 |
3310-YPT-2 |
晶圓樣品臺 |
套 |
1 |
2寸;4寸;6寸;12寸選購 |
|
4 |
3310-06B |
四探針探頭 |
個 |
1 |
直線型 |
|
5 |
340-TTZ |
鍍金彈簧銅針4根 |
組 |
1 |
4根為一組 |
|
6 |
340-WTZ |
彈簧鎢針4根 |
組 |
1 |
4根為一組 |
|
7 |
3310-RJ |
分析軟件 |
套 |
1 |
|
|
8 |
PC |
電腦+打印機 |
套 |
1 |
依據(jù)客戶要求配置 |
|
9 |
3310-JL |
檢測技術服務 |
份 |
1 |
計量證書1份 |
|
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延保服務 |
年 |
1-3 |
|
